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PCT发明

利用光学系统特性的调整的分立组件装配体的位置误差补偿

2022-10-24 10:22:17 发布于四川 4
  • 申请专利号：CN202080055235.4
  • 公开（公告）日：2025-10-28
  • 公开（公告）号：CN115004350A
  • 申请人：库力索法荷兰有限公司
摘要：一种方法包括：确定安装在激光辅助转移系统中的分立组件装配体的分立组件和目标基板上的目标位置之间的对准误差，该分立组件装配体包括通过动态释放层附着至支承件的分立组件；基于该对准误差来确定光束偏移特性；以及将指示该光束偏移特性的信号提供至激光辅助转移系统的光学元件，该光学元件被配置为根据光束偏移特性来调整光束图案相对于分立组件的位置。

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 115004350 A (43)申请公布日 2022.09.02 (21)申请号 202080055235.4 (74)专利代理机构 北京林达刘知识产权代理事 务所(普通合伙) 11277 (22)申请日 2020.06.11 专利代理师 刘新宇 (30)优先权数据 (51)Int.Cl. 62/859,830 2019.06.11 US H01L 21/67 (2006.01) (85)PCT国际申请进入国家阶段日 H01L 21/683 (2006.01) 2022.01.28 H01L 23/00 (2006.01) (86)PCT国际申请的申请数据 H01L 21/68 (2006.01) PCT/US2020/037230 2020.06.11 (87)PCT国际申请的公布数据 WO2020/252164 EN 2020.12.17 (71)申请人

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