一种MEMS应力隔离机构及其设计方法

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112897453 A (43)申请公布日 2021.06.04 (21)申请号 202110097880.9 (22)申请日 2021.01.25 (71)申请人 浙江大学 地址 310058 浙江省杭州市西湖区余杭塘 路866号 (72)发明人 马志鹏　金一鸣　金仲和　郑旭东　 (74)专利代理机构 杭州求是专利事务所有限公 司 33200 代理人 郑海峰 (51)Int.Cl. B81B 7/02 (2006.01) B81B 7/00 (2006.01) B81C 1/00 (2006.01) 权利要求书1页 说明书4页 附图3页 (54)发明名称 一种MEMS应力隔离机构及其设计方法 (57)摘要 本发明公开了一种MEMS应力隔离机构及其 设计方法，属于MEMS机械设计领域，主要由环形 或正多边形结构以及分布在波腹点和波节点的 锚点构成。在MEMS器件加工或工作过程，由于多 种材料膨胀系数失配和温度效应，MEMS器件会受 到残余应力和热应力影响。基于环形或正多边形 结构的驻波特性，将波腹点与基板锚点相连，将 波节点与被保护MEMS器件的锚点相连，可以实现 MEMS器件基板与内部被保护MEMS器件间的应力 隔离。本发明结构简单，应力隔离效果好，可应用 于各类MEMS器件的机械设计中。 A 3 5 4 7 9 8 2 1 1 N C CN 112897453