一种MEMS电容式触觉压力传感器及其制备方法

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113023662 A (43)申请公布日 2021.06.25 (21)申请号 202110178432.1 (22)申请日 2021.02.09 (71)申请人 南京高华科技股份有限公司 地址 210049 江苏省南京市经济开发区栖 霞大道66号 (72)发明人 李维平　兰之康　 (74)专利代理机构 北京中知法苑知识产权代理 有限公司 11226 代理人 李明　赵吉阳 (51)Int.Cl. B81B 7/02 (2006.01) B81C 1/00 (2006.01) G01L 1/14 (2006.01) 权利要求书1页 说明书4页 附图2页 (54)发明名称 一种MEMS电容式触觉压力传感器及其制备 方法 (57)摘要 本发明提出一种MEMS电容式触觉压力传感 器，包括：衬底；绝缘层，设置在所述衬底上；电 极，设置在所述绝缘层上；电介质层，设置在所述 绝缘层上并覆盖所述电极；触觉敏感体，设置在 所述电介质层上；其中，所述触觉敏感体构成所 述MEMS电容式触觉压力传感器的可动电极。本发 明所提出的MEMS电容式触觉压力传感器主要依 赖电容电极间的面积变化来响应触觉压力的变 化，相比于现有的通过电极间距变化来响应触觉 压力变化的MEMS触觉压力传感器，具有高线性 度、高灵敏度的优点。且可采用MEMS加工工艺进 A 行高精度、高一致性、低成本、批量化和微型化的 2 制备。 6 6