MEMS元件以及振动发电器件
- 申请专利号:CN202080070448.4
- 公开(公告)日:2025-05-16
- 公开(公告)号:CN114514190A
- 申请人:株式会社鹭宫制作所
专利内容
(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114514190 A (43)申请公布日 2022.05.17 (21)申请号 202080070448.4 (74)专利代理机构 北京银龙知识产权代理有限 公司 11243 (22)申请日 2020.10.09 专利代理师 金成哲 郑毅 (30)优先权数据 (51)Int.Cl. 2019-187153 2019.10.10 JP B81B 3/00 (2006.01) (85)PCT国际申请进入国家阶段日 B81B 7/02 (2006.01) 2022.04.07 H02N 1/00 (2006.01) (86)PCT国际申请的申请数据 PCT/JP2020/038350 2020.10.09 (87)PCT国际申请的公布数据 WO2021/070947 JA 2021.04.15 (71)申请人 株式会社鹭宫制作所 地址 日本东京都 (72)发明人 芦泽久幸 下村典子
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