PCT发明

MEMS元件以及振动发电器件

2023-05-10 11:41:07 发布于四川 0
  • 申请专利号:CN202080070448.4
  • 公开(公告)日:2025-05-16
  • 公开(公告)号:CN114514190A
  • 申请人:株式会社鹭宫制作所
摘要:MEMS元件具备基座、可动部、弹性部以及固定部,弹性部在与可动部的移动方向交叉的方向上延伸,具有承受可动部的力的中央部和固定于固定部主体的一端及另一端,在中央部与上述一端之间、以及中央部与另一端之间分别具有壁厚比中央部、一端以及另一端薄的薄壁部。

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114514190 A (43)申请公布日 2022.05.17 (21)申请号 202080070448.4 (74)专利代理机构 北京银龙知识产权代理有限 公司 11243 (22)申请日 2020.10.09 专利代理师 金成哲 郑毅 (30)优先权数据 (51)Int.Cl. 2019-187153 2019.10.10 JP B81B 3/00 (2006.01) (85)PCT国际申请进入国家阶段日 B81B 7/02 (2006.01) 2022.04.07 H02N 1/00 (2006.01) (86)PCT国际申请的申请数据 PCT/JP2020/038350 2020.10.09 (87)PCT国际申请的公布数据 WO2021/070947 JA 2021.04.15 (71)申请人 株式会社鹭宫制作所 地址 日本东京都 (72)发明人 芦泽久幸 下村典子 

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