一种运动台的运动轨迹的规划方法及规划装置

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114924528 A (43)申请公布日 2022.08.19 (21)申请号 202210637243.0 (22)申请日 2022.06.07 (71)申请人 北京半导体专用设备研究所（中国 电子科技集团公司第四十五研究 所） 地址 100176 北京市北京经济技术开发区 泰河三街1号 (72)发明人 李红钢　陈国兴　 (74)专利代理机构 北京超凡宏宇专利代理事务 所(特殊普通合伙) 11463 专利代理师 于彬 (51)Int.Cl. G05B 19/19 (2006.01) 权利要求书4页 说明书20页 附图7页 (54)发明名称 一种运动台的运动轨迹的规划方法及规划 装置 (57)摘要 本申请提供了一种运动台的运动轨迹的规 划方法及规划装置，包括：根据运动轨迹中第二 阶段运动轨迹的场景工作段的运动速度和相关 运动约束，得到第二阶段运动轨迹的特征参数； 再由第二阶段运动轨迹的特征参数，反推第一阶 段运动轨迹的结束位置；并根据第一阶段运动轨 迹的结束位置和相关运动约束，得到第一阶段运 动轨迹的特征参数；进而，得到全运动轨迹的特 征参数轮廓以对运动台运动进行规划。这样，能 够减少运动台在高速高精度运动过程中产生的 大冲击和强残余振动，实现了运动台运动轨迹规 A 划时合理加加加速度轮廓、加加速度轮廓、加速 8 度轮廓、速度轮廓和位移轮廓的生成。 2 5 4 2 9