光机换能器装置与对应的方法

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113753844 A (43)申请公布日 2021.12.07 (21)申请号 202110623892.0 (22)申请日 2021.06.04 (30)优先权数据 102020000013462 2020.06.05 IT 17/326,955 2021.05.21 US (71)申请人 意法半导体股份有限公司 地址 意大利阿格拉布里安扎 (72)发明人 L ·马吉　M ·A ·肖　 (74)专利代理机构 北京市金杜律师事务所 11256 代理人 董莘 (51)Int.Cl. B81B 7/02 (2006.01) B81B 7/00 (2006.01) G02B 27/62 (2006.01) 权利要求书4页 说明书9页 附图10页 (54)发明名称 光机换能器装置与对应的方法 (57)摘要 本公开的实施例涉及光机换能器装置与对 应的方法。实施例装置包括具有第一表面和第二 表面的光学透明基底；压电膜，布置在第一表面， 响应于传播通过基底的光束而振荡；面向基底的 至少一个反射刻面被布置在压电膜处；以及光学 元件，在输入端接收光束，并且将光束引导向耦 合到第二表面的输出端。光学元件包含将光束聚 焦在压电膜的焦点处的光聚焦路径，以及将光束 准直到至少一个反射刻面上的至少一个光准直 路径。光学元件将从至少一个反射刻面反射的光 引导到输入端，反射的光指示光学元件