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PCT发明

药液、试剂盒、图案形成方法、药液的制造方法及药液收容体

2023-05-28 13:41:55 发布于四川 3
  • 申请专利号：CN201980046230.2
  • 公开（公告）日：2025-03-11
  • 公开（公告）号：CN112384858A
  • 申请人：富士胶片株式会社
摘要：本发明的课题为提供一种即使在长期保存之后，缺陷抑制性能也优异的药液、试剂盒、图案形成方法、药液的制造方法及药液收容体。本发明的药液为含有有机溶剂、酸成分及金属成分的药液，其中，酸成分的含量相对于药液的总质量为1质量ppt以上且15质量ppm以下，金属成分的含量相对于药液的总质量为0.001～100质量ppt。

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112384858 A (43)申请公布日 2021.02.19 (21)申请号 201980046230.2 (74)专利代理机构 中科专利商标代理有限责任 公司 11021 (22)申请日 2019.07.10 代理人 薛海蛟 (30)优先权数据 (51)Int.Cl. 2018-133580 2018.07.13 JP G03F 7/16 (2006.01) (85)PCT国际申请进入国家阶段日 C11D 7/24 (2006.01) 2021.01.08 C11D 7/26 (2006.01) (86)PCT国际申请的申请数据 C11D 7/50 (2006.01) PCT/JP2019/027289 2019.07.10 G03F 7/32 (2006.01) H01L 21/304 (2006.01) (87)PCT国际申请的公布数据

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