一种全自动双面曝光机
- 申请专利号:CN202010700821.1
- 公开(公告)日:2025-03-14
- 公开(公告)号:CN113835303A
- 申请人:源卓微纳科技(苏州)股份有限公司
专利内容
(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113835303 A (43)申请公布日 2021.12.24 (21)申请号 202010700821.1 (22)申请日 2020.07.20 (66)本国优先权数据 202010581530.5 2020.06.23 CN (71)申请人 苏州源卓光电科技有限公司 地址 215026 江苏省苏州市工业园区汀兰 巷192号C5幢102室 (72)发明人 钱志斌 胥涛棚 张雷 李伟成 (51)Int.Cl. G03F 7/20 (2006.01) 权利要求书2页 说明书7页 附图3页 (54)发明名称 一种全自动双面曝光机 (57)摘要 本发明公开了一种全自动双面曝光机,其包 括上料装置、下料装置,其还包括第一台面、第二 台面、至少一个转移搬运组件和翻转搬运组件, 位于所述第一台面和第二台面之间的曝光系统, 所述第一台面和所述第二台面在所述曝光系统 的两侧分别移动至所述曝光系统进行曝光操作, 所述转移搬运组件和所述翻转搬运组件通过支 架固定安装。本发明采用双台面,共用一个曝光 系统,配合翻转搬运组件和转移搬运组件,对双 台面分别进行对位曝光,两个台面可以分别对基 件的两个曝光面进行对位曝光,互不干扰,曝光 效率高。 A 3 0 3 5 3 8 3 1 1 N C CN 113835303 A 权 利 要 求 书 1/2 页
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