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发明

一种全自动双面曝光机

2023-07-06 11:03:28 发布于四川 0
  • 申请专利号：CN202010700821.1
  • 公开（公告）日：2025-03-14
  • 公开（公告）号：CN113835303A
  • 申请人：源卓微纳科技（苏州）股份有限公司
摘要：本发明公开了一种全自动双面曝光机，其包括上料装置、下料装置，其还包括第一台面、第二台面、至少一个转移搬运组件和翻转搬运组件，位于所述第一台面和第二台面之间的曝光系统，所述第一台面和所述第二台面在所述曝光系统的两侧分别移动至所述曝光系统进行曝光操作，所述转移搬运组件和所述翻转搬运组件通过支架固定安装。本发明采用双台面，共用一个曝光系统，配合翻转搬运组件和转移搬运组件，对双台面分别进行对位曝光，两个台面可以分别对基件的两个曝光面进行对位曝光，互不干扰，曝光效率高。

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113835303 A (43)申请公布日 2021.12.24 (21)申请号 202010700821.1 (22)申请日 2020.07.20 (66)本国优先权数据 202010581530.5 2020.06.23 CN (71)申请人 苏州源卓光电科技有限公司 地址 215026 江苏省苏州市工业园区汀兰 巷192号C5幢102室 (72)发明人 钱志斌　胥涛棚　张雷　李伟成　 (51)Int.Cl. G03F 7/20 (2006.01) 权利要求书2页 说明书7页 附图3页 (54)发明名称 一种全自动双面曝光机 (57)摘要 本发明公开了一种全自动双面曝光机，其包 括上料装置、下料装置，其还包括第一台面、第二 台面、至少一个转移搬运组件和翻转搬运组件， 位于所述第一台面和第二台面之间的曝光系统， 所述第一台面和所述第二台面在所述曝光系统 的两侧分别移动至所述曝光系统进行曝光操作， 所述转移搬运组件和所述翻转搬运组件通过支 架固定安装。本发明采用双台面，共用一个曝光 系统，配合翻转搬运组件和转移搬运组件，对双 台面分别进行对位曝光，两个台面可以分别对基 件的两个曝光面进行对位曝光，互不干扰，曝光 效率高。 A 3 0 3 5 3 8 3 1 1 N C CN 113835303 A 权　利　要　求　书 1/2 页

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