优化针对产品单元制造的工艺序列
- 申请专利号:CN202111042020.1
- 公开(公告)日:2025-03-14
- 公开(公告)号:CN113741155A
- 申请人:ASML荷兰有限公司
专利内容
(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113741155 A (43)申请公布日 2021.12.03 (21)申请号 202111042020.1 (74)专利代理机构 北京市金杜律师事务所 11256 (22)申请日 2018.03.28 代理人 郭星 (30)优先权数据 (51)Int.Cl. 17168734.6 2017.04.28 EP G03F 7/20 (2006.01) (62)分案原申请数据 G05B 19/418 (2006.01) 201880027429.6 2018.03.28 (71)申请人 ASML荷兰有限公司 地址 荷兰维德霍温 (72)发明人 J ·S ·维尔登贝尔格 M ·乔彻姆森 E ·詹森 E ·J ·M ·沃勒博斯 C ·J ·瑞吉尼尔瑟 B ·拉加瑟克哈兰 R ·沃克曼 J ·J ·H ·M ·舒努斯
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