极紫外辐射源、产生极紫外辐射的方法及图案形成的方法

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113126447 A (43)申请公布日 2021.07.16 (21)申请号 202011606332.6 (22)申请日 2020.12.30 (30)优先权数据 62/955,245 2019.12.30 US 16/940,351 2020.07.27 US (71)申请人 台湾积体电路制造股份有限公司 地址 中国台湾新竹市 (72)发明人 杨建勋　张克正　杨建伦　 (74)专利代理机构 隆天知识产权代理有限公司 72003 代理人 聂慧荃　闫华 (51)Int.Cl. G03F 7/20 (2006.01) 权利要求书1页 说明书16页 附图13页 (54)发明名称 产生极紫外辐射的方法 (57)摘要 本公开实施例提供一种产生极紫外辐射的 方法。产生极紫外辐射的方法包括在极紫外辐射 源设备中用激光同时照射两个或多个目标微滴 以生成极紫外辐射，并通过成像镜收集并且引导 从两个或多个目标微滴生成的极紫外辐射。 A 7 4 4 6 2 1 3 1 1 N C CN 113126447 A 权　利　要　求　书 1/1页 1.一种产生极紫外辐射的方法，包括： 在一极紫外辐射源设备中用一第一激光束同时照射两个或多个目标微滴以生成极紫 外辐射；以及 通过一成像镜收集并且引导从该两个或多个目