基于纳米探针的微纳三维结构制备方法2024

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117842927 A (43)申请公布日 2024.04.09 (21)申请号 202410043336.X (22)申请日 2024.01.11 (71)申请人 清华大学 地址 100084 北京市海淀区清华园1号 (72)发明人 张一慧　薛兆国　吕增耀　白柯　 王月皎　赵建中　兰宇　柏韧恒　 赖禹辰　帅雨萌　 (74)专利代理机构 北京林达刘知识产权代理事 务所(普通合伙) 11277 专利代理师 张会华　岳红杰 (51)Int.Cl. B81C 1/00 (2006.01) B82Y 40/00 (2011.01) 权利要求书1页 说明书4页 附图3页 (54)发明名称 基于纳米探针的微纳三维结构制备方法 (57)摘要 提供了一种基于纳米探针的微纳三维结构 制备方法，其包括以下步骤：S1：在衬底上设置牺 牲层与热塑性聚合物层。S2：在所述热塑性聚合 物层上沉积金属层，通过微加工工艺刻蚀所述金 属层，以形成图案化的所述金属层，刻蚀所述热 塑性聚合物层，并去除所述衬底上涂布的所述牺 牲层，形成二维前驱体。S3：使用一个或多个纳米 探针对所述二维前驱体施加载荷并移动所述纳 米探针，带动所述二维前驱体的与所述纳米探针 的针尖的接触的部分移动，使所述二维前驱体的 结构发生变形，形成三维微纳结构。S4：加热所述 三维微纳结构使其产生热塑性，实现所述三维微 A 纳结构的固形。 7 2