一种基于碳纳米管模板制造纳米尺度通道流控器件的方法

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114084869 A (43)申请公布日 2022.02.25 (21)申请号 202111463200.7 (22)申请日 2021.12.02 (71)申请人 吉林大学 地址 130012 吉林省长春市前进大街2699 号 (72)发明人 殷志富　房玉强　陈艳波　杨雪　 贾炳强　 (74)专利代理机构 长春市恒誉专利代理事务所 (普通合伙) 22212 代理人 梁紫钺 (51)Int.Cl. B81C 1/00 (2006.01) C01B 32/168 (2017.01) 权利要求书2页 说明书5页 附图2页 (54)发明名称 一种基于碳纳米管模板制造纳米尺度通道 流控器件的方法 (57)摘要 本发明涉及一种基于碳纳米管模板制造纳 米尺度通道流控器件的方法，包括PDMS微米沟道 基底制造、碳纳米管模具制造和PDMS纳米通道流 控器件制造三大步骤，利用碳纳米管在交流电场 和超声振动作用下，可形成均匀分布、方向一致 的碳纳米管，为纳米通道的制造提供模具，与现 有纳米通道制作方法相比，本发明优势在于制造 工艺简单，操作方便，成本更低，无需依赖于超净 间设备，给10纳米尺度通道的制备提供参考，有 利于纳米尺度通道的应用和推广。 A 9 6 8 4 8 0 4 1 1 N C CN 114084869 A 权　利　要　求　书