微机电结构及其机械性能的调控方法

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112777559 A (43)申请公布日 2021.05.11 (21)申请号 202011627164.9 (22)申请日 2020.12.31 (71)申请人 慧石（上海）测控科技有限公司 地址 200000 上海市青浦区华纺路99号99 弄6幢3楼 (72)发明人 郭梅寒　贺丹　王辉　 (74)专利代理机构 深圳国新南方知识产权代理 有限公司 44374 代理人 周雷 (51)Int.Cl. B81B 3/00 (2006.01) B81C 1/00 (2006.01) G01P 15/08 (2006.01) 权利要求书2页 说明书6页 附图2页 (54)发明名称 微机电结构及其机械性能的调控方法 (57)摘要 本发明提供了一种微机电结构及其机械性 能的调控方法，所述调控方法包括：对电极上电， 驱动质量块在垂直第一方向上运动，其中第一方 向为所述微机电结构的结构功能方向；当所述质 量块在垂直第一方向上发生的位移增大至触发 锁止组件的两部分锁定，以使得所述质量块上的 部分锁止组件与所述质量块在垂直第一方向的 运动路径上的另一部分锁止组件锁合，所述质量 块连接固定于垂直第一方向的运动路径上的另 一部分锁止组件后在垂直第一方向上停止运动， 所述微机电结构在第一方向上的机械性能改变。 通过以上方式，在外加的第二电极的驱动下，能 A 够不可逆的改变质量块在第一方向上运动时支 9 撑悬臂梁