一种废气处理设备及其控制方法

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116560436 A (43)申请公布日 2023.08.08 (21)申请号 202310343444.4 (22)申请日 2023.03.31 (71)申请人 北京京仪自动化装备技术股份有限 公司 地址 100176 北京市大兴区北京经济技术 开发区凉水河二街8号院14楼A座 (72)发明人 张坤　 (74)专利代理机构 北京路浩知识产权代理有限 公司 11002 专利代理师 乔慧 (51)Int.Cl. G05D 27/02 (2006.01) G01D 21/02 (2006.01) 权利要求书2页 说明书8页 附图4页 (54)发明名称 一种废气处理设备及其控制方法 (57)摘要 本发明提供了一种废气处理设备及其控制 方法，涉及泛半导体技术领域，用以解决废气处 理设备中监测口因气体扰动容易堵塞的问题，从 而大幅延长设备维护周期，降低了维护成本。该 废气处理设备包括 ：至少一个进气管单元；所述 进气管单元包括 ：进气管路和负压监测管路 ；其 中，所述进气管路包括进气管，所述进气管的管 壁设置多个监测口；所述负压监测管路包括监测 管，所述监测管包括至少一个进口和多个出口 ， 各所述出口分别与不同的所述监测口连通；所述 进口被配置为：在所述负压监测管路处于工作状 态的情况下，接收防扰气体，以使得所述监测管 A 内部保持气体流动。 6 3 4 0 6 5 6 1 1