一种具有可伸入腔体的多通道功能轴的立式成膜设备

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116103753 A (43)申请公布日 2023.05.12 (21)申请号 202211670502.6 (22)申请日 2022.12.26 (71)申请人 宁波恒普真空科技股份有限公司 地址 315300 浙江省宁波市慈溪高新技术 产业开发区新兴一路365号 (72)发明人 刘鹏　徐文立　高炀　沈磊　 (74)专利代理机构 北京高沃律师事务所 11569 专利代理师 王芳 (51)Int.Cl. C30B 25/10 (2006.01) C30B 25/14 (2006.01) 权利要求书2页 说明书4页 附图5页 (54)发明名称 一种具有可伸入腔体的多通道功能轴的立 式成膜设备 (57)摘要 本发明公开一种具有可伸入腔体的多通道 功能轴的立式成膜设备，涉及半导体生产设备技 术领域 ，主要结构包括进气室、反应室、套筒流 道、搬运系统、基座、旋转室和旋转轴；旋转轴为 中空轴，旋转轴内同轴的设置有一多通道功能 轴；提升杆贯穿多通道功能轴；多通道功能轴伸 入基座内的一端设置有多个开孔。本发明中的具 有可伸入腔体的多通道功能轴的立式成膜设备， 在基座内设置进气管，通入保护气体使基座内外 分离，相较覆盖件遮挡更为全面有效。保持基座 内保护气体向外溢出，减少外部反应气体进入基 A 座内部，从而降低基座内发热体受到外部气体影 3 响并延长使用寿命，同时保证成膜过程中热场的 5 7 3 稳定性，降低更换频率可提高生产效率。 0 1 6 1