一种可伸缩抗弯曲波纹管结构
- 申请专利号:CN202111223750.1
- 公开(公告)日:2025-07-11
- 公开(公告)号:CN113832536A
- 申请人:徐州晶睿半导体装备科技有限公司
专利内容
(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113832536 A (43)申请公布日 2021.12.24 (21)申请号 202111223750.1 (22)申请日 2021.10.21 (71)申请人 徐州晶睿半导体装备科技有限公司 地址 221000 江苏省徐州市金山桥开发区 鑫芯路1号 (72)发明人 汪佳 张理杰 (51)Int.Cl. C30B 15/00 (2006.01) C30B 15/30 (2006.01) C30B 28/10 (2006.01) 权利要求书2页 说明书6页 附图7页 (54)发明名称 一种可伸缩抗弯曲波纹管结构 (57)摘要 本发明公开了一种可伸缩抗弯曲波纹管结 构,包括波纹管组合管路和组合导向筒,波纹管 组合管路套接在组合导向筒内;波纹管组合管路 包括波纹管、内套管以及法兰,波纹管组合管路 的波纹管为多个,多个波纹管从上到下的公称通 径逐渐减小,波纹管轴向弹性系数不同,且满足 各波纹管轴向弹性系数与其最大伸缩量的乘积 应相等,位于最下端的波纹管内套设有内套管, 内套管从位于最下端的波纹管的底部穿入,内套 管从位于最下端的波纹管的顶部穿出。本发明采 用导向筒和内套管结构,限制了波纹管使用过程 中的弯曲,同时震动幅度亦得到有效控制。本发 A 明充分利用细长波纹管轴向弹性系数较大的特 6 点,整体可以轴向伸缩,特别适用于存在相对运 3 5 2 动的两接头之间。 3 8 3 1 1 N C CN 113832536 A
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