二次加料系统和二次加料方法

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 115976630 A (43)申请公布日 2023.04.18 (21)申请号 202211602739.0 (22)申请日 2022.12.13 (71)申请人 西安奕斯伟材料科技有限公司 地址 710000 陕西省西安市高新区西沣南 路1888号1-3-029室 申请人 西安奕斯伟硅片技术有限公司 (72)发明人 纪天平　张鹏举　 (74)专利代理机构 北京银龙知识产权代理有限 公司 11243 专利代理师 李清风 (51)Int.Cl. C30B 15/02 (2006.01) C30B 29/06 (2006.01) 权利要求书2页 说明书5页 附图2页 (54)发明名称 二次加料系统和二次加料方法 (57)摘要 本发明涉及一种二次加料系统，包括单晶炉 和二次加料装置 ，所述二次加料装置包括加料 筒、提拉杆和石英锥，所述加料筒的外周面上设 置有凸环，所述单晶炉包括主炉室和副炉室，所 述副炉室的内侧壁上设置有与所述凸环相配合 的挡块 ，所述二次加料系统还包括第一移动结 构，所述第一移动结构用于控制所述挡块进行升 降运动。本发明还涉及一种二次加料方法。通过 所述第一移动结构的设置，可以实现所述挡块的 升降 ，从而实现加料筒的单独升降 ，增大加料筒 和石英锥之间的间距，解决卡料问题，且不会造 成加料筒的损伤。 A 0 3 6 6 7 9 5 1 1 N C CN