一种超薄二维过渡金属氮化物单晶结构及其制备方法与应用

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 115726041 A (43)申请公布日 2023.03.03 (21)申请号 202110981014.6 (22)申请日 2021.08.25 (71)申请人 中国科学院大连化学物理研究所 地址 116000 辽宁省大连市沙河口区中山 路457号 (72)发明人 傅强　赵常保　王彬　孟彩霞　 (74)专利代理机构 大连东方专利代理有限责任 公司 21212 专利代理师 周媛媛　李馨 (51)Int.Cl. C30B 29/38 (2006.01) C30B 25/18 (2006.01) C30B 25/16 (2006.01) B01J 35/00 (2006.01) B01J 27/24 (2006.01) 权利要求书1页 说明书9页 附图8页 (54)发明名称 一种超薄二维过渡金属氮化物单晶结构及 其制备方法与应用 (57)摘要 本发明公开了一种超薄二维过渡金属氮化 物单晶结构及其制备方法与应用，属于纳米材料 技术领域。主要包括以下步骤：配置不同浓度的 过渡金属盐溶液；对蓝宝石基底进行表面预处 理，使其表面亲水；利用旋涂仪将过渡金属盐溶 液旋涂至蓝宝石基底的表面；在程序升温管式炉 中进行化学气相沉积反应制备超薄二维过渡金 属氮化物单晶。通过调变调控生长温度及前驱体 浓度可控制备不同物相的超薄二维过渡金属氮 化物单晶。这种通过调变温度和气氛压力直接熔