一种双通道输出镀率侦测装置

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116334570 A (43)申请公布日 2023.06.27 (21)申请号 202310111113.8 (22)申请日 2023.02.13 (71)申请人 福建华佳彩有限公司 地址 351100 福建省莆田市涵江区涵中西 路1号 (72)发明人 郑国清　张麒麟　林泽　吴晟远　 (74)专利代理机构 福州市京华专利代理事务所 (普通合伙) 35212 专利代理师 范小清 (51)Int.Cl. C23C 14/54 (2006.01) G01B 17/02 (2006.01) C23C 14/24 (2006.01) 权利要求书1页 说明书4页 附图6页 (54)发明名称 一种双通道输出镀率侦测装置 (57)摘要 本发明提供了一种双通道输出镀率侦测装 置，包括有输出通道载盘、电极载盘和晶振片载 盘，输出通道载盘固定在电机的外壳上，电极载 盘和晶振片载盘由电机轴带动旋转，且晶振片载 盘设置在电极载盘远离输出通道载盘的一侧；输 出通道载盘连接有电源模块，晶振片载盘以电机 轴为中心，环形阵列设置有复数个安装孔，每一 安装孔内设置有一颗晶振片，晶振片通过电极载 盘与电源模块导通，输出通道载盘连接有用于遮 盖电极载盘和晶振片载盘的罩壳，罩壳开设有能 同时露出两颗晶振片的腰型孔。 A 0 7 5 4 3 3 6 1 1 N C CN 116334570 A