数字化零介入智能真空磁控溅射镀膜机及其作业方法2025

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117026183 A (43)申请公布日 2023.11.10 (21)申请号 202310922250.X (22)申请日 2023.07.26 (71)申请人 浙江万得福智能科技股份有限公司 地址 321035 浙江省金华市金东区孝顺镇 镇北功能区 (72)发明人 徐世杰　张一为　金胜焱　黄仕胜　 申佳敏　 (74)专利代理机构 浙江千克知识产权代理有限 公司 33246 专利代理师 项晓悦 (51)Int.Cl. C23C 14/35 (2006.01) C23C 14/50 (2006.01) 权利要求书2页 说明书7页 附图4页 (54)发明名称 数字化零介入智能真空磁控溅射镀膜机及 其作业方法 (57)摘要 本发明公开了一种数字化零介入智能真空 磁控溅射镀膜机及其作业方法。该镀膜机包括立 式真空室、工件架、接收套、行星传动装置、计算 机及软件等部分。行星传动装置实现接收套的自 动间距调节和自转公转功能。计算机辅助设计软 件模拟工件在真空室内的摆放形态,确定工件架 数量和间距。间距调节时,接收套进入调节区段, 共用动力装置带动间距调节传动齿圈转动完成 间距调整;定位齿圈与间距调节传动齿圈通过调 节与定位组件实现啮合切换。整个镀膜过程实现 数字化零介入,大大提高效率。与传统手工操作 A 相比 ,本发明无需人工计算和设置工件位置 ,也 3 无需人工调节接收套间距,实现了自动化智