配备使用过的内部捕获塔的自我再生功能的反应副产物捕获装置

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116262969 A (43)申请公布日 2023.06.16 (21)申请号 202210238025.X (22)申请日 2022.03.11 (30)优先权数据 10-2021-0177718 2021.12.13 KR (71)申请人 未来宝株式会社 地址 韩国京畿道平泽市振威面振威产团路 32 (72)发明人 赵宰孝　黄仁文　金仁焕　李俊旼　 (74)专利代理机构 北京青松知识产权代理事务 所(特殊普通合伙) 11384 专利代理师 郑青松 (51)Int.Cl. C23C 16/44 (2006.01) C23G 5/00 (2006.01) B08B 7/00 (2006.01) 权利要求书3页 说明书10页 附图9页 (54)发明名称 配备使用过的内部捕获塔的自我再生功能 的反应副产物捕获装置 (57)摘要 本发明涉及一种配备使用过的内部捕获塔 的自我再生功能的反应副产物捕获装置，作为安 装在半导体制造工程中的制程腔体与真空泵或 真空泵与洗涤器之间，为了对在沉积工程之后排 出的排放气体中所包含的反应副产物进行捕获 之后排出，包括用于对流入到外壳 (1)内部的排 放气体进行加热的加热器(2)以及用于对流入到 外壳内部的排放气体中的反应物产物进行捕获 的内部捕获塔(3)的反应副产物捕获装置，包括： 再生加热器(4)，安装在内部捕获塔(3)中并通过