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发明

一种二氧化钒薄膜的制备方法2025

2023-10-16 07:18:37 发布于四川 0
  • 申请专利号：CN202310624159.X
  • 公开（公告）日：2025-04-18
  • 公开（公告）号：CN116875947A
  • 申请人：二维新材料（深圳）有限公司
摘要：本发明公开了一种二氧化钒薄膜的制备方法，包括下列步骤：步骤一：衬底清洗：将衬底依次经过去离子水、丙酮、乙醇、去离子水的超声清洗后，使用氮气枪将衬底吹干备用；步骤二：在衬底上使用磁控溅射方式镀第一钒金属层；步骤三：对第一钒金属层进行氧化得到钒的氧化层；步骤四：在钒的氧化层上使用磁控溅射方式镀第二钒金属层；步骤五：将镀好材料的衬底实施退火步骤。本发明制备方法根据金属钒的氧化程度，通过再次镀不同厚度的金属钒层来调整总体膜层中的钒/氧摩尔比。该方法对薄膜沉积和退火的要求低，且所制备VO2薄膜电学性能优异，相变前后，方块电阻的变化幅度可以达到4个数量级。

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116875947 A (43)申请公布日 2023.10.13 (21)申请号 202310624159.X C23C 8/10 (2006.01) B82Y 30/00 (2011.01) (22)申请日 2023.05.30 B82Y 40/00 (2011.01) (71)申请人 二维新材料（深圳）有限公司 地址 518000 广东省深圳市光明区马田街 道石围社区石围坪岗工业大道21号 A1103 (72)发明人 许子寒　曹辰辰　李甜田　 (74)专利代理机构 深圳市嘉宏博知识产权代理 事务所 44273 专利代理师 李杰 (51)Int.Cl. C23C 14/35 (2006.01) C23C 14/16 (2006.01) C23C 14/18 (2006.01) C23C 14/58 (2006.01) 权利要求书1页 说明书5页 附图5页 (54)发明名称 一种二氧化钒薄膜的制备方法 (57)摘要 本发明公开了一种二氧化钒薄膜的制备方 法，包括下列步骤：步骤一：衬底清洗：将衬底依 次经过去离子水、丙酮、乙醇、去离子水的超声清 洗后，使用氮气枪将衬底吹干备用；步骤

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