坩埚、组合坩埚、长晶装置和方法2024

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116815303 A (43)申请公布日 2023.09.29 (21)申请号 202310782854.9 (22)申请日 2023.06.28 (71)申请人 通威微电子有限公司 地址 610299 四川省成都市双流区成都芯 谷产业园区集中区内 (72)发明人 杨光宇　 (74)专利代理机构 北京超凡宏宇知识产权代理 有限公司 11463 专利代理师 曹灿 (51)Int.Cl. C30B 23/00 (2006.01) C30B 29/36 (2006.01) 权利要求书2页 说明书7页 附图7页 (54)发明名称 坩埚、组合坩埚、长晶装置和方法 (57)摘要 本发明的实施例提供了一种坩埚、组合坩 埚、长晶装置和方法，涉及半导体技术领域。坩埚 包括坩埚本体 ，坩埚本体具有一顶部开口的腔 室，腔室内设置有分隔部。分隔部将腔室分隔为 上腔室和下腔室。上腔室用于容置碳化硅。坩埚 本体的侧壁设置有多个与下腔室连通的通孔，以 使下腔室与外部连通。其能够改善坩埚的温场分 布不均匀的问题，从而提高长晶原料的利用率和 改善形成重结晶的问题，与上坩埚件结合可延长 长晶时间，增加生长晶锭的厚度。 A 3 0 3 5 1 8 6 1 1 N C CN 116815303 A 权　利　要　求　书 1/2页 1