一种旋转碳化硅长晶炉感应加热系统2025

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116770438 A (43)申请公布日 2023.09.19 (21)申请号 202310923201.8 (22)申请日 2023.07.25 (71)申请人 南通罡丰科技有限公司 地址 226000 江苏省南通市崇川区高新区 金桥西路一号聚恒工业园12号 (72)发明人 奚衍罡　 (74)专利代理机构 江苏南通瀛信专利代理事务 所(普通合伙) 32579 专利代理师 李卓霖 (51)Int.Cl. C30B 29/36 (2006.01) C30B 35/00 (2006.01) 权利要求书3页 说明书7页 附图10页 (54)发明名称 一种旋转碳化硅长晶炉感应加热系统及长 晶炉 (57)摘要 本发明公开了一种旋转碳化硅长晶炉感应 加热系统及长晶炉，包括加热冷却子系统及坩埚 旋转系统，所述加热冷却子系统包括保温结构、 加热组件及冷却组件，所述坩埚旋转系统包括旋 转结构、绝缘保护结构及坩埚结构，还包括机架 结构，所述机架结构包括机体及机板。本发明采 用旋转结构中的主轴带动坩埚结构进行旋转，在 主轴旋转时，四个从动齿轮带动四个L型架绕主 轴转动，使得横轴实现绕主轴的转动，同时横轴 因为锥齿环与锥齿轮的啮合关系实现自转，这样 多个稳定杆端部的第一滚珠会对主轴上的球形 A 轴进行支撑，保证主轴定心平稳转动，保证坩埚 8 结构的平稳转动，使得加热时温度场分布更易控 3 4 0 制，保证温度均匀性，保证晶体的