助熔剂法连续生长大尺寸高质量氮化物单晶的系统及方法

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113969422 A (43)申请公布日 2022.01.25 (21)申请号 202010710019.0 (22)申请日 2020.07.22 (71)申请人 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿 生研究所 地址 215123 江苏省苏州市苏州工业园区 独墅湖高教区若水路398号 (72)发明人 司志伟　刘宗亮　徐科　 (74)专利代理机构 南京利丰知识产权代理事务 所(特殊普通合伙) 32256 代理人 王锋 (51)Int.Cl. C30B 9/10(2006.01) C30B 29/40(2006.01) 权利要求书2页 说明书8页 附图3页 (54)发明名称 助熔剂法连续生长大尺寸高质量氮化物单 晶的系统及方法 (57)摘要 本发明公开了一种助熔剂法连续生长大尺 寸高质量氮化物单晶的系统及方法。所述系统包 括：反应生长单元、原料补给单元、废料回收单 元、生长停滞监测单元和控制单元，所述反应生 长单元包括可供反应生长氮化物单晶的反应腔 室，所述原料补给单元和废料回收单元分别与所 述反应腔室连接，所述废料回收单元至少用于将 反应腔室中的废料导出，所述生长停滞监测单元 至少用于对所述氮化物单晶的生长状态进行监 测，以及，所述控制单元还与所述原料补给单元、 废料回收单元、生长停滞监测单元连