一种隔热机构、单晶炉及复投方法

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116200802 A (43)申请公布日 2023.06.02 (21)申请号 202211105331.2 (22)申请日 2022.09.09 (71)申请人 浙江晶盛机电股份有限公司 地址 312300 浙江省绍兴市上虞区通江西 路218号 (72)发明人 曹建伟　朱亮　傅林坚　叶钢飞　 李玉刚　倪军夫　 (51)Int.Cl. C30B 15/00 (2006.01) C30B 29/06 (2006.01) C30B 15/02 (2006.01) 权利要求书2页 说明书9页 附图13页 (54)发明名称 一种隔热机构、单晶炉及复投方法 (57)摘要 本申请涉及硅单晶生长技术领域，涉及一种 隔热机构，应用于单晶炉的主炉室内，主炉室上 开设有第一孔，包括 ：承载组件，承载组件，位于 单晶炉的内部，所述承载组件具有竖直方向的移 动自由度，所述承载组件包括：承载座，所述承载 座具有一容置空间 ；隔热组件，所述隔热组件包 括：隔热块，所述隔热块用于与所述第一孔配合 使得所述第一孔受封堵，所述隔热块可活动，所 述隔热块受外部复投装置驱动而形成有：第一状 态下，所述隔热块位于所述第一孔内 ；第二状态 下，所述隔热块位于所述容置空间内，所述隔热 块随承载组件上升至所述第一孔以上位置。解决 A 了现有技术中复投孔的隔热密封效果差的技术 2 问题，达到了提高复投孔的隔热密封效果的技术 0 8 0 效果。 0 2 6 1 1