一种基于密封双金属腔控制激光器晶体温度的洁净炉装置

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 115747972 A (43)申请公布日 2023.03.07 (21)申请号 202211502346.2 (22)申请日 2022.11.28 (71)申请人 南京科耐激光技术有限公司 地址 211899 江苏省南京市江北新区研创 园雨合北路6号光电科技园C座19层 (72)发明人 鲍桥梁　李预斌　毛东　王文斌　 (74)专利代理机构 杭州君锐知产专利代理事务 所(普通合伙) 33443 专利代理师 黄欢娣 (51)Int.Cl. C30B 35/00 (2006.01) C30B 29/22 (2006.01) F27B 17/00 (2006.01) 权利要求书1页 说明书5页 附图5页 (54)发明名称 一种基于密封双金属腔控制激光器晶体温 度的洁净炉装置 (57)摘要 本发明涉及一种基于密封双金属腔控制激 光器晶体温度的洁净炉装置，包括依次共轴装配 的膛前镜筒、炉膛和膛后镜筒；所述炉膛为金属 制成的圆柱形，轴向具有L型通孔，所述晶体采用 具有应变补偿弹簧的限位块压紧并固定在所述L 型通孔中；所述膛前镜筒、膛后镜筒是中间有轴 向通孔的金属圆筒，其一端为窗口镜端，用于安 装窗口镜，另外一端具有第一法兰连接盘，称为 炉膛端，用于与炉膛连接，并由炉膛密封圈密封， 形成密封的内洁净腔。通过密封全金属内腔，达 到无水、颗粒物等杂质引入，无氟化物等气体产 A 生，通过密封金属外腔，使温度波动度符合要求，