一种加热装置及单晶炉2025

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117305973 A (43)申请公布日 2023.12.29 (21)申请号 202311315505.2 (22)申请日 2023.10.11 (71)申请人 无锡松瓷机电有限公司 地址 214000 江苏省无锡市锡山经济开发 区芙蓉四路195号 (72)发明人 请求不公布姓名　请求不公布姓名　 请求不公布姓名　请求不公布姓名　 请求不公布姓名　请求不公布姓名　 (74)专利代理机构 无锡三合知识产权代理事务 所(普通合伙) 32602 专利代理师 徐鹏飞　赵庆华 (51)Int.Cl. C30B 15/14 (2006.01) C30B 29/06 (2006.01) 权利要求书1页 说明书6页 附图4页 (54)发明名称 一种加热装置及单晶炉 (57)摘要 本发明公开了一种加热装置及单晶炉，该加 热装置包括主加热器和辅助加热器，其中，主加 热器设置在坩埚的外围，主加热器被配置对坩埚 加热，辅助加热器设置在坩埚的外围且位于主加 热器的下方，辅助加热器与主加热器在高度方向 具有间隙△x，辅助加热器至少被配置为在硅料 熔化阶段以及晶棒等径生长阶段对坩埚加热，其 中，20mm≤△x≤60mm。上述加热装置通过在主加 热器的下方增设辅助加热器，提高了加热效率， 进而提高熔料效率，同时主加热器和辅助加热器 的配合能够保证炉体内温度场的均匀性，有利于 提高晶体的整体品质。