发明

一种单电机驱动的伸缩式硬轴提拉机构

2023-05-16 08:45:36 发布于四川 0
  • 申请专利号:CN202310072251.X
  • 公开(公告)日:2025-06-17
  • 公开(公告)号:CN116005251A
  • 申请人:浙江大学
摘要:本发明公开了一种单电机驱动的伸缩式硬轴提拉机构。外杆和内杆分别由五根直径不同的外杆节和内杆节按照直径从大到小的顺序自上而下依次嵌套组成,第五外杆节和第五内杆节通过联动凸台固定连接,籽晶夹头与第五外杆节的下端面固定连接,第一内杆节和第二内杆节之间、第二内杆节和第三内杆节之间分别通过两个锁止单元连接,第三内杆节和第四内杆节之间通过减速传动组件连接,内杆套筒套设在第四内杆节的顶端,行星轮系与内杆套筒内侧壁固定连接,行星架放置在内杆套筒上,中心扣放置在行星架上。本发明能够有效降低单晶炉整体质心,减少电机振动激励,螺纹传动利于提高提拉速度控制精度,降低晶棒生长界面波动,提升晶棒生长质量。

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116005251 A (43)申请公布日 2023.04.25 (21)申请号 202310072251.X (22)申请日 2023.02.07 (71)申请人 浙江大学 地址 310058 浙江省杭州市西湖区余杭塘 路866号 (72)发明人 汪延成 谷子良 梅德庆 项飞鹤  陈宇宏  (74)专利代理机构 杭州求是专利事务所有限公 司 33200 专利代理师 林超 (51)Int.Cl. C30B 15/30 (2006.01) C30B 15/20 (2006.01) C30B 29/06 (2006.01) 权利要求书2页 说明书8页 附图9页 (54)发明名称 一种单电机驱动的伸缩式硬轴提拉机构 (57)摘要 本发明公开了一种单电机驱动的伸缩式硬 轴提拉机构。外杆和内杆分别由五根直径不同的 外杆节和内杆节按照直径从大到小的顺序自上 而下依次嵌套组成,第五外杆节和第五内杆节通 过联动凸台固定连接,籽晶夹头与第五外杆节的 下端面固定连接,第一内杆节和第二内杆节之 间、第二内杆节和第三内杆节之间分别通过两个 锁止单元连接,第三内杆节和第四内杆节之间通 过减速传动组件连接,内杆套筒套设在第四内杆 节的顶端 ,行星轮系与内杆套筒内侧壁固定连 接,行星架放置在内杆套筒上,中心扣放置在行 星架上。本发明能够有效降低单晶炉整体质心, A 减少电机振动激励,螺纹传动利于提高提拉速度

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