1. 您所在位置：
  2. 网站首页
  3. 专利分类
  4. 物理
PCT发明

感光化射线性或感放射线性树脂组合物、感光化射线性或感放射线性膜、图案形成方法及电子器件的制造方法

2023-06-18 07:23:35 发布于四川 0
  • 申请专利号：CN202080060658.5
  • 公开（公告）日：2025-04-01
  • 公开（公告）号：CN114303098A
  • 申请人：富士胶片株式会社
摘要：本发明提供一种感光化射线性或感放射线性树脂组合物、由上述感光化射线性或感放射线性树脂组合物形成的感光化射线性或感放射线性膜、图案形成方法及电子器件的制造方法，上述感光化射线性或感放射线性树脂组合物含有：(A)通过酸的作用而极性增大的树脂；(B)光产酸剂；及阴离子(P)，其为选自由NO3‑、SO42‑、Cl‑及Br‑组成的组中的1种以上的阴离子，其中，相对于感光化射线性或感放射线性树脂组合物的总质量，上述阴离子(P)的含量为0.01ppb以上且100ppm以下。

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114303098 A (43)申请公布日 2022.04.08 (21)申请号 202080060658.5 (74)专利代理机构 中科专利商标代理有限责任 公司 11021 (22)申请日 2020.08.13 代理人 薛海蛟 (30)优先权数据 (51)Int.Cl. 2019-157428 2019.08.29 JP G03F 7/004 (2006.01) (85)PCT国际申请进入国家阶段日 G03F 7/038 (2006.01) 2022.02.25 G03F 7/039 (2006.01) (86)PCT国际申请的申请数据 PCT/JP2020/030819 2020.08.13 (87)PCT国际申请的公布数据 WO2021/039429 JA 2021.03.04 (71)申请人 富士胶片株式会社 地址 日本国东京都 (72)发明人

最新专利

相关专利