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采用基板对齐特征和印刷区域对齐特征的喷射控制

2023-06-16 07:16:18 发布于四川 0

申请专利号：CN201980083917.3
公开（公告）日：2025-04-08
公开（公告）号：CN113196166A
申请人：科迪华公司

摘要：在一种印刷方法中，获取印刷系统中负载的基板的至少一张图像。基于所述至少一张图像，确定在所述印刷系统的参照系中所述基板上的第一对齐特征的实际位置。基于所述第一对齐特征的实际位置，确定基板上的第二对齐特征的预期位置。基于所述至少一张图像和所述第二对齐特征的预期位置，确定在所述印刷系统的参照系中所述第二对齐特征的实际位置。基于所述第二对齐特征的实际位置，确定所述基板上的印刷区域的目标位置。基于所述印刷区域的目标位置，控制印刷材料喷射到所述印刷区域中的所述基板上。

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113196166 A (43)申请公布日 2021.07.30 (21)申请号 201980083917.3 伊莱 ·弗朗斯基　亚历山大 ·苏-康 ·高　 (22)申请日 2019.12.18 (74)专利代理机构北京坦路来专利代理有限公 (30)优先权数据司 11652 62/782,442 2018.12.20 US 代理人索翌 62/891,807 2019.08.26 US 16/716,143 2019.12.16 US (51)Int.Cl. G03F 1/38 (2006.01) (85)PCT国际申请进入国家阶段日 G03F 1/42 (2006.01) 2021.06.18 G06K 5/04 (2006.01) (86)PCT国际申请的申请数据 PCT/US2019/067161 2019.12.18

采用基板对齐特征和印刷区域对齐特征的喷射控制

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