一种气相外延反应系统2023

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 219772327 U (45)授权公告日 2023.09.29 (21)申请号 202320559478.2 (22)申请日 2023.03.17 (73)专利权人 宁波恒普技术股份有限公司 地址 315300 浙江省宁波市慈溪高新技术 产业开发区新兴一路365号 (72)发明人 刘鹏　徐文立　沈磊　 (74)专利代理机构 北京高沃律师事务所 11569 专利代理师 赵丽恒 (51)Int.Cl. C30B 25/14 (2006.01) C30B 25/16 (2006.01) C30B 25/02 (2006.01) 权利要求书1页 说明书5页 附图3页 (54)实用新型名称 一种气相外延反应系统 (57)摘要 本实用新型公开了一种气相外延反应系统， 属于气相外延技术领域，包括供气单元、抽气单 元和内设有反应腔室的气相外延反应室，气相外 延反应室上设有与反应腔室连通的进气口和排 气口，反应腔室内设有位于气体流通路径上的晶 体安装座，进气口通过进气管与供气单元连通， 排气口通过抽气管与抽气单元连通，抽气管上设 有主路流量调节阀，主路流量调节阀和抽气单元 之间设有旁通管，旁通管通过三通阀与进气管连 通。在开启抽气单元后，不仅能够通过抽气管对 气相外延反应室进行有效抽真空，还能通过旁通 管直接对进气管抽真空，结合上抽气管对进气管 U 间接抽真空，其抽真空效果大幅提升，能够有效 7 避免气体残留和沉积在进气管内。 2 3 2