喷淋板组件及薄膜沉积设备2025

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117127171 A (43)申请公布日 2023.11.28 (21)申请号 202311116736.0 (22)申请日 2023.08.31 (71)申请人 拓荆创益（沈阳）半导体设备有限公 司 地址 110171 辽宁省沈阳市浑南区水家900 号 (72)发明人 魏薇　张赛谦　王婷　刘肖朦　 (74)专利代理机构 上海专利商标事务所有限公 司 31100 专利代理师 胡林岭 (51)Int.Cl. C23C 16/455 (2006.01) H01J 37/32 (2006.01) 权利要求书1页 说明书5页 附图4页 (54)发明名称 喷淋板组件及薄膜沉积设备 (57)摘要 本发明提供了喷淋板组件及薄膜沉积设备。 该喷淋板组件包括：喷淋板及上盖板。该上盖板 位于该喷淋板上方，该上盖板的中心具有进气 口，该上盖板上呈放射状自该进气口延径向设置 有多排通气单元，该多排通气单元的下部贯穿该 上盖板的下表面，朝向该喷淋板的上部通气。 A 1 7 1 7 2 1 7 1 1 N C CN 117127171 A 权　利　要　求　书 1/1页 1.一种喷淋板组件，其特征在于，包括： 喷淋板； 上盖板，该上盖板位于该喷淋板上方，该上盖板的中心具有进气口，该上盖板上呈放射 状