一种低压化学气相沉积炉进气装置

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113151806 A (43)申请公布日 2021.07.23 (21)申请号 202110453739.8 (22)申请日 2021.04.26 (71)申请人 中南大学 地址 410083 湖南省长沙市岳麓区麓山南 路932号 (72)发明人 周继承　吕博文　 (74)专利代理机构 北京东方盛凡知识产权代理 事务所(普通合伙) 11562 代理人 张换君 (51)Int.Cl. C23C 16/455 (2006.01) 权利要求书2页 说明书5页 附图2页 (54)发明名称 一种低压化学气相沉积炉进气装置 (57)摘要 本发明公开一种低压化学气相沉积炉进气 装置，包括:炉体，所述炉体内设置有混气机构和 反应机构；所述混气机构包括混气管；所述反应 机构包括隔离板；所述隔离板一侧面与所述混气 管另一端端面固接；所述炉体内设置有外管；所 述外管内设置有内管；所述内管与所述外管一端 均与所述隔离板另一侧面固接；所述内管与所述 外管的另一端固接有后密封组件；所述外管内壁 与所述内管外壁之间形成环形通道；所述隔离板 侧面绕所述隔离板中心周向阵列开设有若干连 通孔；所述连通孔两端分别连通所述环形通道和 所述混气管内腔；所述内管外壁沿轴线方向螺旋 A 开设有若干通气孔；若干所述通气孔孔径沿所述 6 隔离板到所述后密封组件方向依次增大。 0 8 1 5 1 3 1 1 N C CN 113151806