一种化学气相沉积制备硼烯的反应室结构及其制作方法

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116411257 A (43)申请公布日 2023.07.11 (21)申请号 202310274811.X C01B 35/02 (2006.01) (22)申请日 2023.03.21 (71)申请人 中北大学 地址 030051 山西省太原市尖草坪区学院 路3号 (72)发明人 王慧奇　毕婷　张鋆哲　王美　 王立勇　刘磊　范向前　胡胜亮　 (74)专利代理机构 太原倍智知识产权代理事务 所(普通合伙) 14111 专利代理师 王飞 (51)Int.Cl. C23C 16/44 (2006.01) C23C 16/28 (2006.01) C23C 16/458 (2006.01) C23C 16/455 (2006.01) 权利要求书1页 说明书5页 附图4页 (54)发明名称 一种化学气相沉积制备硼烯的反应室结构 及其制作方法 (57)摘要 本发明为一种化学气相沉积制备硼烯的反 应室结构及其制作方法，属于二维薄膜制备技术 领域。本发明反应室结构包括第一刚玉圆柱管， 第一刚玉圆柱管内设置有反应装置和沉积装置， 反应装置采用刚玉舟，沉积装置包括第二刚玉圆 柱管 ，第二刚玉圆柱管内设置有自支撑叠加结 构，自支撑叠加结构由下层基底、中层基底和上 层基底组成。本发明反应室结构设计科学、结构 巧妙、制作简单、使用