基于最优目标肩形的直拉单晶硅放肩自适应拉速控制方法2023

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116815302 A (43)申请公布日 2023.09.29 (21)申请号 202310674504.0 (22)申请日 2023.06.07 (71)申请人 浙江晶盛机电股份有限公司 地址 312399 浙江省绍兴市上虞区通江西 路218号 申请人 浙江求是半导体设备有限公司 (72)发明人 曹建伟　傅林坚　刘华　李岁寒　 (74)专利代理机构 北京清亦华知识产权代理事 务所(普通合伙) 11201 专利代理师 韩海花 (51)Int.Cl. C30B 15/20 (2006.01) C30B 29/06 (2006.01) 权利要求书3页 说明书8页 附图4页 (54)发明名称 基于最优目标肩形的直拉单晶硅放肩自适 应拉速控制方法 (57)摘要 本申请提出了一种基于最优目标肩形的直 拉单晶硅放肩自适应拉速控制方法，涉及光伏、 半导体单晶拉制生产技术领域，包括 ：从拉晶历 史状态数据筛选数据集，并对数据集进行预处理 与放肩初始剩料重量划分，得到不同剩料重量下 的放肩扩断数据集和放肩非扩断数据集；在同一 剩料重量区间内，采用相似度衡量指标对放肩扩 断数据集进行补全，并基于补全数据获得该剩料 重量区间内的最优目标肩形；根据最优目标肩形 与晶体直径预测模型，获取设定直径变化率与预 测直径变化率；建立拉速推荐适应度约束函数， A 将预测直径变化率与设定直径变化率输入得到 2 推荐拉速输出值。基