用于成膜装置的热场保温组件及立式成膜装置

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116005255 A (43)申请公布日 2023.04.25 (21)申请号 202310018351.4 (22)申请日 2023.01.06 (71)申请人 宁波恒普真空科技股份有限公司 地址 315300 浙江省宁波市慈溪高新技术 产业开发区新兴一路365号 (72)发明人 刘鹏　徐文立　沈磊　 (74)专利代理机构 北京高沃律师事务所 11569 专利代理师 孙玲 (51)Int.Cl. C30B 25/10 (2006.01) 权利要求书2页 说明书8页 附图8页 (54)发明名称 用于成膜装置的热场保温组件及立式成膜 装置 (57)摘要 本发明公开了用于成膜装置的热场保温组 件及立式成膜装置，通过在热场外周设置由内、 外保温筒叠套组成的组合式保温筒结构，可包裹 与热场中所有发热体相连的所有石墨电极的周 边区域，内保温筒可遮挡每个石墨电极的轴向延 伸大部分区域，减少石墨电极的受热面积，进而 减少热场热量向四周流失；外保温筒可进一步阻 隔热场的横向热量传递，减少热场热量通过反应 室的金属腔壁向立式成膜装置外部传导流失。同 时，通过在热场顶部安装圆环形保温盖，可避免 热场热量向上散出，石墨电极与金属电极的连接 A 处的顶部通过圆环形保温盖的外缘遮挡，能够有 5 效避免石墨电极与金属电极连接处的热量散失。 5 2 5 本发明能够有效降低石墨电极对热场升温以及 0 0 6 温度分布的影响。 1 1 N C CN 1160052