一种新型热丝化学气相沉积装置2023

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(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 219772248 U (45)授权公告日 2023.09.29 (21)申请号 202321365424.9 (22)申请日 2023.05.31 (73)专利权人 海南和风佳会电化学工程技术股 份有限公司 地址 570105 海南省海口市龙华区滨海大 道32号复兴城A1区A5002-459号 (72)发明人 杨作红　郭俊　陈明靖　 (74)专利代理机构 太原新航路知识产权代理事 务所(特殊普通合伙) 14112 专利代理师 王云峰 (51)Int.Cl. C23C 16/27 (2006.01) 权利要求书2页 说明书5页 附图11页 (54)实用新型名称 一种新型热丝化学气相沉积装置 (57)摘要 本实用新型涉及热丝化学气相沉积技术领 域，具体是一种新型热丝化学气相沉积装置，其 包括沉积室，沉积室的底端固定有进气管，沉积 室的顶端固定有出气管，沉积室的内腔固定有上 热丝组、下热丝组，沉积室的内腔中部固定有沉 积工件，沉积室的侧壁开设有室门通孔，室门通 孔通过水平沉积室弧带分为上室门通孔和下室 门通孔，沉积室的侧壁上铰接有室门 ，沉积室的 内侧壁涂镀有热辐射反射膜层；沉积工件包括沉 积工件I、沉积工件II和沉积工件III，沉积工件 I、沉积工件II和沉积工件III均包括水平基圈， 水平基圈的内部固定有纵向栅杆；解决了现有的 U 沉积设备在沉积掺硼金刚石薄膜时存在成品质 8 量差、热能利用率低的