一种等离子体设备

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116288224 A (43)申请公布日 2023.06.23 (21)申请号 202310310174.7 H01L 21/687 (2006.01) (22)申请日 2023.03.21 (71)申请人 深圳市矩阵多元科技有限公司 地址 518131 广东省深圳市龙华区民治街 道上芬社区龙屋工业区6号厂房101 一、二楼 (72)发明人 朱新华　张晓军　罗敏　邵寿潜　 (74)专利代理机构 广州嘉权专利商标事务所有 限公司 44205 专利代理师 林明校 (51)Int.Cl. C23C 14/50 (2006.01) C23C 14/32 (2006.01) H01J 37/32 (2006.01) H01L 21/67 (2006.01) 权利要求书1页 说明书9页 附图9页 (54)发明名称 片材用支撑装置以及等离子体设备 (57)摘要 本发明公开一种片材用支撑装置以及等离 子体设备。该片材用支撑装置包括：基台，在载置 面上载置呈矩形状的片材；多个支撑件，分别沿 垂直于所述载置面的方向穿过所述基台并可突 出于所述载置面，并且可分别从所述片材的底部 的四周边缘、以与面板的长度方向以及宽度方向 的中心线错开的方式支撑所述片材；定位组件， 安装到所述基台，从所述片材的四周边缘对所述 片材进行定位 ；所述基台和多个