掩模组件、用于制造显示设备的装置和方法

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(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112779498 A (43)申请公布日 2021.05.11 (21)申请号 202010966090.5 (22)申请日 2020.09.15 (30)优先权数据 10-2019-0140322 2019.11.05 KR (71)申请人 三星显示有限公司 地址 韩国京畿道 (72)发明人 金柾勋　晋丞民　 (74)专利代理机构 北京德琦知识产权代理有限 公司 11018 代理人 宋颖娉　康泉 (51)Int.Cl. C23C 14/04 (2006.01) C23C 14/24 (2006.01) H01L 51/00 (2006.01) H01L 51/56 (2006.01) 权利要求书3页 说明书15页 附图11页 (54)发明名称 掩模组件、用于制造显示设备的装置和方法 (57)摘要 本发明提供一种掩模组件、用于制造显示设 备的装置和方法。根据一个或多个实施例，掩模 组件包括：包括开口和围绕开口的部分的掩模框 架，以及被布置在掩模框架上并且包括第一区域 和第二区域的掩模，并且沉积材料可穿过与开口 相对应的第一区域，并且第二区域在第一区域周 围，并且第一区域包括沉积开口，并且第二区域 包括虚设开口，虚设开口中的至少一些包括被布 置成从连接沉积开口的中心的直线偏离的中心， 并且沉积开口中的每一个的宽度与虚设开口中 的每一个的宽度相同。 A 8