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发明

气敏器件

2023-06-18 07:24:24 发布于四川 1
  • 申请专利号：CN202111376473.8
  • 公开（公告）日：2022-05-20
  • 公开（公告）号：CN114518388A
  • 申请人：英飞凌科技股份有限公司
摘要：本公开的各实施例涉及气敏器件。公开了一种气敏器件(10)。该气敏器件包括衬底结构(20)和气敏电容器，该气敏电容器包括在绝缘层(30)的第一主表面区域上呈气敏层(45)形式的第一电容器电极(40)以及在绝缘层(30)下方呈埋入导电区域形式的第二电容器电极(60)，使得绝缘层(30)布置在第一电容器电极(40)与第二电容器电极(60)之间；其中气敏层(45)包括响应于气体分子的吸附或解吸而变化的薄层阻抗。还描述了一种用于操作气敏器件(10)的方法。此外，公开了一种包括一个或多个气敏器件的多气体传感器。

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114518388 A (43)申请公布日 2022.05.20 (21)申请号 202111376473.8 (22)申请日 2021.11.19 (30)优先权数据 20208978.5 2020.11.20 EP (71)申请人 英飞凌科技股份有限公司 地址 德国诺伊比贝尔格 (72)发明人 M ·迈耶　W ·布罗伊尔　 (74)专利代理机构 北京市金杜律师事务所 11256 专利代理师 马明月 (51)Int.Cl. G01N 27/12 (2006.01) G01N 27/22 (2006.01) G01N 27/02 (2006.01) 权利要求书2页 说明书13页 附图24页 (54)发明名称 气敏器件 (57)摘要 本公开的各实施例涉及气敏器件。公开了一 种气敏器件(10)。该气敏器件包括衬底结构(20) 和气敏电容器，该气敏电容器包括在绝缘层(30) 的第一主表面区域上呈气敏层(45)形式的第一 电容器电极(40)以及在绝缘层(30)下方呈埋入 导电区域形式的第二电容器电极(60)，使得绝缘 层(30)布置在第一电容器电极(40)与第二电容 器电极(60)之间；其中气敏层(45)包括响应于气 体分子的吸附或解吸而变化的薄层阻抗。还描述 了一种用于操作气敏器件(10)的方法。此外，公 开了一种包括一个或多个气敏器件的多气体传 感器。 A 8 8 3 8 1 5 4 1 1

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