发明

一种基于硅波导的模斑转换器

2023-05-15 10:54:21 发布于四川 1
  • 申请专利号:CN202310261344.7
  • 公开(公告)日:2023-05-12
  • 公开(公告)号:CN116107026A
  • 申请人:中国电子科技集团公司第五十四研究所
摘要:本发明公开了一种基于硅波导的模斑转换器,属于硅基光子芯片技术领域;其包括氧化物包层、衬底和硅波导结构,其中硅波导结构在二氧化硅包层内并采用三叉戟的结构。三叉戟结构硅波导的输入端为单个波导,与输入光波导连接,输出端为双波导,与光纤对接在一起,模斑转换器输出端通过采用这种三叉戟的结构可以提高波导与光纤之间的耦合效率。三叉戟硅波导的传输部分采用锥形的结构,通过硅波导宽度的逐渐缩小,波导对于光的限制作用减弱,当波导宽度缩小到一定程度时,光无法被限制在波导中,就会从波导中溢出,光斑尺寸随之增加,实现波导与光纤之间两种模斑的高效耦合。

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116107026 A (43)申请公布日 2023.05.12 (21)申请号 202310261344.7 (22)申请日 2023.03.17 (71)申请人 中国电子科技集团公司第五十四研 究所 地址 050081 河北省石家庄市中山西路589 号第五十四所光通信研发中心部 (72)发明人 杨瑾 于文琦 李少波 梁晓东  马向 齐合飞 刘博缘 何剑涛  (74)专利代理机构 河北东尚律师事务所 13124 专利代理师 王文庆 (51)Int.Cl. G02B 6/14 (2006.01) G02B 6/122 (2006.01) 权利要求书1页 说明书4页 附图4页 (54)发明名称 一种基于硅波导的模斑转换器 (57)摘要 本发明公开了一种基于硅波导的模斑转换 器,属于硅基光子芯片技术领域;其包括氧化物 包层、衬底和硅波导结构,其中硅波导结构在二 氧化硅包层内并采用三叉戟的结构。三叉戟结构 硅波导的输入端为单个波导 ,与输入光波导连 接,输出端为双波导,与光纤对接在一起,模斑转 换器输出端通过采用这种三叉戟的结构可以提 高波导与光纤之间的耦合效率。三叉戟硅波导的 传输部分采用锥形的结构,通过硅波导宽度的逐 渐缩小,波导对于光的限制作用减弱,当波导宽 度缩小到一定程度时 ,光无法被限制在波导中, 就会从波导中溢出,光斑尺寸随之增加,实现波 A 导与光纤之间两种模斑的高效耦合。 6 2

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