一种基于硅波导的模斑转换器
- 申请专利号:CN202310261344.7
- 公开(公告)日:2023-05-12
- 公开(公告)号:CN116107026A
- 申请人:中国电子科技集团公司第五十四研究所
专利内容
(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116107026 A (43)申请公布日 2023.05.12 (21)申请号 202310261344.7 (22)申请日 2023.03.17 (71)申请人 中国电子科技集团公司第五十四研 究所 地址 050081 河北省石家庄市中山西路589 号第五十四所光通信研发中心部 (72)发明人 杨瑾 于文琦 李少波 梁晓东 马向 齐合飞 刘博缘 何剑涛 (74)专利代理机构 河北东尚律师事务所 13124 专利代理师 王文庆 (51)Int.Cl. G02B 6/14 (2006.01) G02B 6/122 (2006.01) 权利要求书1页 说明书4页 附图4页 (54)发明名称 一种基于硅波导的模斑转换器 (57)摘要 本发明公开了一种基于硅波导的模斑转换 器,属于硅基光子芯片技术领域;其包括氧化物 包层、衬底和硅波导结构,其中硅波导结构在二 氧化硅包层内并采用三叉戟的结构。三叉戟结构 硅波导的输入端为单个波导 ,与输入光波导连 接,输出端为双波导,与光纤对接在一起,模斑转 换器输出端通过采用这种三叉戟的结构可以提 高波导与光纤之间的耦合效率。三叉戟硅波导的 传输部分采用锥形的结构,通过硅波导宽度的逐 渐缩小,波导对于光的限制作用减弱,当波导宽 度缩小到一定程度时 ,光无法被限制在波导中, 就会从波导中溢出,光斑尺寸随之增加,实现波 A 导与光纤之间两种模斑的高效耦合。 6 2
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