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发明

高效率兼容型清洗机2025

2023-11-05 07:13:40 发布于四川 3
  • 申请专利号：CN202310677814.8
  • 公开（公告）日：2025-06-24
  • 公开（公告）号：CN116967168A
  • 申请人：安徽万维克林精密装备有限公司
摘要：本发明公开了高效率兼容型清洗机，包括机体以及固定连接于机体背面的储水箱，所述机体内壁的两侧均固定连接有电动滑轨，且两个所述电动滑轨相对的一侧之间滑动连接有放置框，所述机体的顶部设置有表面冲洗机构，所述放置框的内部设置有狭缝清刷机构；所述狭缝清刷机构包括通过支撑件固定连接于放置框内部的固定框，本发明涉及清洗机技术领域。该高效率兼容型清洗机，通过表面冲洗机构和狭缝清刷机构的设置，能够对晶圆传送盒的内部以及表面进行彻底清洗，有效清除承载晶圆狭缝内部的污垢杂质，同时两组清理刷在一定范围内，能够根据传送盒的尺寸进行自适应调节，使其插入狭缝内部，无清洗死角，提高清洗效率。

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116967168 A (43)申请公布日 2023.10.31 (21)申请号 202310677814.8 B08B 13/00 (2006.01) H01L 21/67 (2006.01) (22)申请日 2023.06.09 (71)申请人 安徽万维克林精密装备有限公司 地址 230000 安徽省合肥市经济技术开发 区天柱山大道西,硕放路南电子厂房A 座1层 (72)发明人 周尤　许磊　姚华东　班恒生　 (74)专利代理机构 合肥市科深知识产权代理事 务所(普通合伙) 34235 专利代理师 李丹丹 (51)Int.Cl. B08B 1/00 (2006.01) B08B 3/02 (2006.01) B08B 3/04 (2006.01) B08B 11/00 (2006.01) 权利要求书1页 说明书4页 附图5页 (54)发明名称 高效率兼容型清洗机 (57)摘要 本发明公开了高效率兼容型清洗机，包括机 体以及固定连接于机体背面的储水箱，所述机体 内壁的两侧均固定连接有电动滑轨，且两个所述 电动滑轨相对的一侧之间滑动连接有放置框，所 述机体的顶部设置有表面冲洗机构，所述放置框 的内部设置有狭缝清刷机构；所述狭缝清刷机构 包括通过支撑

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