一种提升熔石英元件损伤阈值的激光清洗方法2025

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117046851 A (43)申请公布日 2023.11.14 (21)申请号 202310957263.0 (22)申请日 2023.08.01 (71)申请人 中国科学院上海光学精密机械研究 所 地址 201800 上海市嘉定区清河路390号 (72)发明人 魏朝阳　韩宜池　万嵩林　彭小聪　 邵建达　 (74)专利代理机构 上海恒慧知识产权代理事务 所(特殊普通合伙) 31317 专利代理师 张宁展 (51)Int.Cl. B08B 11/00 (2006.01) B08B 7/00 (2006.01) B08B 3/02 (2006.01) B08B 3/12 (2006.01) 权利要求书1页 说明书3页 附图3页 (54)发明名称 一种提升熔石英元件损伤阈值的激光清洗 方法 (57)摘要 一种提升熔石英元件损伤阈值的激光清洗 方法，包括 ：首先用光学显微镜和荧光共聚焦显 微镜检测表面及亚表面污染缺陷的分布和深度； 随后采用应力双折射仪进行不同清洗深度热应 力的测定；再通过特定参数进行近无热应力的激 光清洗，从而去除元件表面及亚表面污染和结构 缺陷，此过程可以实现不破坏元件粗糙度的均匀 清洗；最后采用去离子水对熔石英元件进行超声 清洁。本发明操作简单且成本低廉，仅需激光清 洗即可实现缺陷及污染的有效去除，从而实现近 无应力条件下