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PCT发明

抗蚀剂图案金属化工艺用组合物

2023-07-05 07:05:12 发布于四川 1
  • 申请专利号：CN202080032980.7
  • 公开（公告）日：2025-05-02
  • 公开（公告）号：CN113785243A
  • 申请人：日产化学株式会社
摘要：本发明的课题是提供一种组合物以及使用该组合物的抗蚀剂图案的金属化方法，其能够通过使抗蚀剂图案的抗蚀剂金属化来改善抗蚀剂图案的粗糙度或塌陷，并提高耐蚀刻性。本发明是一种用于抗蚀剂图案金属化工艺的组合物以及使用该组合物提供于抗蚀剂中渗透有前述组合物成分的抗蚀剂图案的抗蚀剂图案金属化方法，所述组合物含有(A)成分：选自金属氧化物(1)、水解性硅烷化合物(2)、前述水解性硅烷化合物的水解物(3)、及前述水解性硅烷化合物的水解缩合物(4)中的至少一种；(B)成分：不含有羧基(‑‑COOH)的酸化合物；及(C)成分：水性溶剂。

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113785243 A (43)申请公布日 2021.12.10 (21)申请号 202080032980.7 (74)专利代理机构 北京市中咨律师事务所 11247 (22)申请日 2020.03.27 代理人 李照明　段承恩 (30)优先权数据 (51)Int.Cl. 2019-068030 2019.03.29 JP G03F 7/20 (2006.01) (85)PCT国际申请进入国家阶段日 G03F 7/40 (2006.01) 2021.11.02 (86)PCT国际申请的申请数据 PCT/JP2020/014232 2020.03.27 (87)PCT国际申请的公布数据 WO2020/203852 JA 2020.10.08 (71)申请人 日产化学株式会社 地址 日本东京都 (72)发明人 柴山亘　武田谕　志垣修平　 石桥谦　加藤宏大　中岛诚　

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