发明

在压印光刻工艺中配置光学层2025

2024-04-04 07:24:54 发布于四川 0
  • 申请专利号:CN202410025025.0
  • 公开(公告)日:2025-05-27
  • 公开(公告)号:CN117806119A
  • 申请人:分子印记公司
摘要:本发明涉及在压印光刻工艺中配置光学层。配置光学层的压印光刻方法包括利用图案化模板在衬底的一面上压印具有第一数量级的尺寸的第一特征,同时利用图案化模板在衬底的该面上压印具有第二数量级的尺寸的第二特征,第二特征尺寸确定且布置成在衬底与相邻表面之间限定一间隙。

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117806119 A (43)申请公布日 2024.04.02 (21)申请号 202410025025.0 (22)申请日 2017.09.14 (30)优先权数据 62/429,214 2016.12.02 US (62)分案原申请数据 201780074523.2 2017.09.14 (71)申请人 分子印记公司 地址 美国德克萨斯州 (72)发明人 V ·辛格 M ·N ·米勒 F ·Y ·徐  (74)专利代理机构 北京市中咨律师事务所 11247 专利代理师 牛晓玲 万柳军 (51)Int.Cl. G03F 7/00 (2006.01) 权利要求书2页 说明书8页 附图9页 (54)发明名称 在压印光刻工艺中配置光学层 (57)摘要 本发明涉及在压印光刻工艺中配置光学层。 配置光学层的压印光刻方法包括利用图案化模 板在衬底的一面上压印具有第一数量级的尺寸 的第一特征,同时利用图案化模板在衬底的该面 上压印具有第二数量级的尺寸的第二特征,第二 特征尺寸确定且布置成在衬底与相邻表面之间 限定一间隙。 A 9 1 1 6 0 8 7 1 1 N C CN 117806119 A 权 利 要 求 书 1/2页 1.一种多层可佩戴目镜,包括: 衬底;