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发明

一种立式蒸发溅射一体化设备的测量载具

2023-06-02 12:41:09 发布于四川 0
  • 申请专利号：CN202011240095.6
  • 公开（公告）日：2023-06-02
  • 公开（公告）号：CN112501580A
  • 申请人：凯盛光伏材料有限公司
摘要：本发明公开了一种立式蒸发溅射一体化设备的测量载具，属于真空镀膜领域，包括基础框架，基础框架的中间封板上安装有纵向长齿条，纵向长齿条两侧分布有硅片安装槽，纵向长齿条靠近顶部框架板的1/3处与二级齿轮啮合，二级齿轮与一级齿轮啮合，一级齿轮与横向短齿条啮合，横向短齿条安装在狭缝腔的腔壁上，中间封板上还通过挡板齿轮轴安装有两列挡板齿轮，挡板齿轮轴上还固定连接有硅片镀膜挡板，挡板齿轮与纵向长齿条啮合。本发明解决了在一套立式蒸发溅射一体化设备内同时使用蒸发镀膜与溅射镀膜两种工艺时无法单独测量蒸发膜层原子质量比和溅射膜层厚度的问题，无需关闭蒸发源及溅射电源，实现随时在线取样、线下测量的目的。

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112501580 A (43)申请公布日 2021.03.16 (21)申请号 202011240095.6 (22)申请日 2020.11.09 (71)申请人 凯盛光伏材料有限公司 地址 233010 安徽省蚌埠市燕南路1001号 (72)发明人 刘林　王宝玉　邵倩　徐根保　 王昌华　 (74)专利代理机构 蚌埠鼎力专利商标事务所有 限公司 34102 代理人 王琪 (51)Int.Cl. C23C 14/56 (2006.01) C23C 14/54 (2006.01) C23C 14/34 (2006.01) C23C 14/24 (2006.01) H01L 21/66 (2006.01) 权利要求书1页 说明书3页 附图5页 (54)发明名称 一种立式蒸发溅射一体化设备的测量载具 (57)摘要 本发明公开了一种立式蒸发溅射一体化设 备的测量载具，属于真空镀膜领域，包括基础框 架，基础框架的中间封板上安装有纵向长齿条， 纵向长齿条两侧分布有硅片安装槽，纵向长齿条 靠近顶部框架板的1/3处与二级齿轮啮合，二级 齿轮与一级齿轮啮合，一级齿轮与横向短齿条啮 合，横向短齿条安装在狭缝腔的腔壁上，中间封 板上还通过挡板齿轮轴安装有两列挡板齿轮，挡 板齿轮轴上还固定连接有硅片镀膜挡板，挡板齿 轮与纵向长齿条啮合。本发明解决了在一套立式 蒸发溅射一

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