双向笼式载具移载装置

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116200717 A (43)申请公布日 2023.06.02 (21)申请号 202310335788.0 (22)申请日 2023.03.27 (71)申请人 维达力实业(深圳)有限公司 地址 518100 广东省深圳市龙岗区坂田街 道雅园路3号3#楼、4#楼、5#楼、6#楼的 1、2、3、4层 (72)发明人 虞文韬　谢振岗　晏海燕　王来泉　 (74)专利代理机构 北京超凡宏宇专利代理事务 所(特殊普通合伙) 11463 专利代理师 杜杨 (51)Int.Cl. C23C 14/50 (2006.01) C23C 14/56 (2006.01) 权利要求书2页 说明书6页 附图4页 (54)发明名称 双向笼式载具移载装置 (57)摘要 本发明的实施例提供了一种双向笼式载具 移载装置，涉及真空镀膜领域。旨在能够改善真 空环境下送料效率低的问题。双向笼式载具移载 装置包括移载腔室、移动架、货笼、升降机构、移 动架横移机构以及货笼横移机构；移动架沿横向 方向可移动地设置在移载腔室两端的开口之间， 货笼沿横向方向可移动地设置在移动架上；升降 机构用于驱动移动架升降 ；移动架横移机构用于 驱动移动架横移；货笼横移机构包括依次传动连 接的第一电机、第一磁流体密封轴、软轴以及货 笼横移传动组件。第一电机安装在移载腔室外 部，通过第一磁流体密封轴将动力传递到移载腔 A 室内部，加上内部机械结构实现真空镀膜