一种基于气流控制的绝缘表面功能梯度改性的等离子体装置2025
- 申请专利号:CN202410249447.6
- 公开(公告)日:2025-06-13
- 公开(公告)号:CN117888086A
- 申请人:南京工业大学|||国网江苏省电力有限公司南京供电分公司
专利内容
(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117888086 A (43)申请公布日 2024.04.16 (21)申请号 202410249447.6 C23C 16/50 (2006.01) C23C 16/44 (2006.01) (22)申请日 2024.03.05 (71)申请人 南京工业大学 地址 211816 江苏省南京市浦口区浦珠南 路30号 申请人 国网江苏省电力有限公司南京供电 分公司 (72)发明人 祝曦 蒋佳驹 申张亮 储金成 徐骏豪 鲍佳睿 方志 (74)专利代理机构 南京源古知识产权代理事务 所(普通合伙) 32300 专利代理师 马晓辉 (51)Int.Cl. C23C 16/455 (2006.01) C23C 16/52 (2006.01) 权利要求书1页 说明书5页 附图5页 (54)发明名称 一种基于气流控制的绝缘表面功能梯度改 性的等离子体装置 (57)摘要 本发明公开了一种基于气流控制的绝缘表 面功能梯度改性的等离子体装置,其技术方案要 点是:包括流线形集气均气气路以及和流线形集 气均气气路相连通的媒质泄漏浓度梯度模块,媒 质泄漏浓度梯度模块连通有废气收集模块,废气 收集模块连通有废气处理装置,媒质泄漏浓度梯
最新专利
- 一种基于蜂巢结构的高性能表面增强拉曼检测基底、加工方法及检测方法公开日期:2025-07-11公开号:CN117107194A申请号:CN202310960030.6一种基于蜂巢结构的高性能表面增强拉曼检测基底、加工方法及检测方法
- 发布时间:2023-11-27 07:17:010
- 申请号:CN202310960030.6
- 公开号:CN117107194A
- 一种铝掺杂氧化锌透明导电膜制备设备公开日期:2025-07-11公开号:CN117051386A申请号:CN202310839789.9一种铝掺杂氧化锌透明导电膜制备设备
- 发布时间:2023-11-16 07:55:370
- 申请号:CN202310839789.9
- 公开号:CN117051386A
- 一种防止微型电容器基膜烫伤的电子枪装置及防烫伤方法公开日期:2025-07-11公开号:CN116904935A申请号:CN202310707279.6一种防止微型电容器基膜烫伤的电子枪装置及防烫伤方法
- 发布时间:2023-10-22 07:28:080
- 申请号:CN202310707279.6
- 公开号:CN116904935A
- 用于超高速激光熔覆的送粉装置公开日期:2025-07-11公开号:CN116837377A申请号:CN202310951313.4用于超高速激光熔覆的送粉装置
- 发布时间:2023-10-11 07:18:270
- 申请号:CN202310951313.4
- 公开号:CN116837377A
- 一种钛合金表面制备有压应力的致密纳米晶钽涂层及方法公开日期:2025-07-11公开号:CN116479420A申请号:CN202310416268.2一种钛合金表面制备有压应力的致密纳米晶钽涂层及方法
- 发布时间:2023-07-28 07:16:590
- 申请号:CN202310416268.2
- 公开号:CN116479420A
- 用于在半导体材料的衬底晶圆上沉积外延层的方法和设备公开日期:2025-07-11公开号:CN116368261A申请号:CN202180067105.7用于在半导体材料的衬底晶圆上沉积外延层的方法和设备
- 发布时间:2023-07-03 10:01:460
- 申请号:CN202180067105.7
- 公开号:CN116368261A