一种基于气流控制的绝缘表面功能梯度改性的等离子体装置2025

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117888086 A (43)申请公布日 2024.04.16 (21)申请号 202410249447.6 C23C 16/50 (2006.01) C23C 16/44 (2006.01) (22)申请日 2024.03.05 (71)申请人 南京工业大学 地址 211816 江苏省南京市浦口区浦珠南 路30号 申请人 国网江苏省电力有限公司南京供电 分公司 (72)发明人 祝曦　蒋佳驹　申张亮　储金成　 徐骏豪　鲍佳睿　方志　 (74)专利代理机构 南京源古知识产权代理事务 所(普通合伙) 32300 专利代理师 马晓辉 (51)Int.Cl. C23C 16/455 (2006.01) C23C 16/52 (2006.01) 权利要求书1页 说明书5页 附图5页 (54)发明名称 一种基于气流控制的绝缘表面功能梯度改 性的等离子体装置 (57)摘要 本发明公开了一种基于气流控制的绝缘表 面功能梯度改性的等离子体装置，其技术方案要 点是：包括流线形集气均气气路以及和流线形集 气均气气路相连通的媒质泄漏浓度梯度模块，媒 质泄漏浓度梯度模块连通有废气收集模块，废气 收集模块连通有废气处理装置，媒质泄漏浓度梯