发明

一种射频滤波器及其制作方法

2023-06-02 11:58:23 发布于四川 2
  • 申请专利号:CN202011065903.X
  • 公开(公告)日:2025-06-03
  • 公开(公告)号:CN112436821A
  • 申请人:华景传感科技(无锡)有限公司
摘要:本发明提供一种射频滤波器及其制作方法,射频滤波器包括:衬底、上电极层、下电极层、加热层和氮化镓层;所述衬底包括通孔区;所述下电极层设置于所述衬底的一侧;所述加热层设置于所述衬底远离所述下电极层的一侧,所述下电极层和所述加热层在所述通孔区相接触;所述氮化镓层设置于所述加热层远离所述衬底的一侧;所述上电极层设置于所述氮化镓层远离所述衬底的一侧。本发明提供的射频滤波器的工作性能不受环境温度的影响,可以在超低温度下正常工作。

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112436821 A (43)申请公布日 2021.03.02 (21)申请号 202011065903.X (22)申请日 2020.09.30 (71)申请人 迈感微电子(上海)有限公司 地址 201313 上海市浦东新区万祥镇宏祥 北路83弄1-42号20幢118室 (72)发明人 缪建民 张金姣  (74)专利代理机构 北京品源专利代理有限公司 11332 代理人 孟金喆 (51)Int.Cl. H03H 9/64 (2006.01) H03H 9/02 (2006.01) 权利要求书1页 说明书4页 附图1页 (54)发明名称 一种射频滤波器及其制作方法 (57)摘要 本发明提供一种射频滤波器及其制作方法, 射频滤波器包括:衬底、上电极层、下电极层、加 热层和氮化镓层;所述衬底包括通孔区;所述下 电极层设置于所述衬底的一侧;所述加热层设置 于所述衬底远离所述下电极层的一侧,所述下电 极层和所述加热层在所述通孔区相接触;所述氮 化镓层设置于所述加热层远离所述衬底的一侧; 所述上电极层设置于所述氮化镓层远离所述衬 底的一侧。本发明提供的射频滤波器的工作性能 不受环境温度的影响,可以在超低温度下正常工 作。 A 1 2 8 6 3 4 2 1 1 N C CN 112436821 A 权 利 要 求 书

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